光刻-刻蝕虛擬仿真實驗的設計與實施
[摘 要] 對焦國家中國芯開發(fā)戰(zhàn)略,自主設計開發(fā)光刻-刻蝕虛擬仿真實驗。實驗以芯片生產(chǎn)過程中的光刻-刻蝕工藝作為代表,通過虛擬仿真技術進行設備建模、光路模擬、微觀粒子運動演示等,將無法觸及的設備內部結構、復雜的光刻-刻蝕工藝影響、轉瞬即逝的微觀實驗現(xiàn)象直觀化展示給實驗者,利用“練習模式”和“考試模式”讓實驗者充分開展實驗探索,通過不同模擬情境激發(fā)學生學習興趣。(剩余7063字)
目錄
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