SiO 2 水汽阻擋能力提升研究
摘要:針對薄膜應力的控制中,文章分別分析了應力與射頻功率和反應壓強的關系。為了提高制備SiO2膜的致密度和沉積速率,課題組討論了通過調整射頻功率、溫度、壓強、對二氧化硅薄膜致密度和沉積速率的影響。為使SiO2水汽阻隔更佳,也討論了SiO2表面改性的方案。為提高二氧化硅膜的抗水汽入侵能力、提高表面疏水性可以對表面二氧化硅層進行改性,引入疏水性有機基團,以降低表面自由能。(剩余5183字)
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- 九江學院學報(自然科學版)
- 2024年04期
目錄
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