貼片式圓盤(pán)定子多自由度超聲電機(jī)的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)

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摘要：為解決多自由度超聲電機(jī)普遍存在的定位精度低、結(jié)構(gòu)尺寸大和預(yù)壓力難以施加等問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種新型貼片式圓盤(pán)定子多自由度超聲電機(jī)。首先使用有限元方法驗(yàn)證了圓盤(pán)定子的工作原理并確定其幾何尺寸;然后制作了圓盤(pán)定子并測(cè)試其阻抗特性和振動(dòng)特性;最后組裝了原理樣機(jī)并對(duì)其機(jī)械輸出特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)評(píng)估。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，原理樣機(jī)的啟/停響應(yīng)時(shí)間均在20 ms以?xún)?nèi)，角位移分辨率均小于30 μrad，具有響應(yīng)迅速和定位精度高的優(yōu)點(diǎn)。（剩余15124字）