掃描電鏡示值誤差測(cè)量不確定度評(píng)定分析

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摘要：文中介紹了掃描電子顯微鏡的原理和應(yīng)用，分析了掃描電子顯微鏡測(cè)長(zhǎng)示值誤差的不確定度來(lái)源，包括測(cè)量重復(fù)性，測(cè)量電壓，測(cè)量距離，測(cè)量倍數(shù)，圖像分辨率以及標(biāo)準(zhǔn)柵格樣板。文中以測(cè)量1μm標(biāo)準(zhǔn)柵格樣板為例，評(píng)定各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量，計(jì)算合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度和擴(kuò)展不確定度，評(píng)定結(jié)果為5.4nm，小于掃描電子顯微鏡測(cè)長(zhǎng)示值誤差計(jì)量特性1/3MPE的要求。（剩余4472字）