基于薄膜傳感器的傳動錐齒輪柔性測試技術
摘 要: 通過分析濺射氣壓對PdCr 薄膜電阻溫度系數(shù)的影響以及退火條件對Pt 薄膜電阻率的影響,采用掩模板方法實現(xiàn)應變薄膜與熱電阻薄膜圖形化處理,并利用高溫銀漿燒結(jié)實現(xiàn)引線與敏感層薄膜的穩(wěn)定連接,建立由Ni 基合金基帶、Y2O3 過渡層、AlON-Al2O3 復合絕緣層、PdCr 應變敏感層/Pt 熱電阻敏感層、Al2O3 防護層組成的薄膜傳感器設計方法。(剩余1171字)
目錄
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