基于MEMS工藝的硅基毫米波微同軸波導(dǎo)芯片

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摘  要：采用硅基MEMS工藝技術(shù)，開發(fā)了適用于毫米波頻段的微波傳輸波導(dǎo)芯片。為了滿足毫米波傳輸?shù)男枨螅ㄟ^改進(jìn)工藝流程，使制備出的線芯結(jié)構(gòu)的厚度小于基片厚度，有利于對高次模的抑制。同時(shí)開發(fā)了水平轉(zhuǎn)垂直的轉(zhuǎn)向線芯結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了信號(hào)的垂直過渡與傳輸。外屏蔽金屬層分別制備在上、中、下三層晶圓的硅腔體內(nèi)壁，最后經(jīng)過晶圓級鍵合工藝形成閉合腔體。（剩余5853字）