MEMS汽車壓力傳感器的標(biāo)定算法研究

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【摘  要】壓力傳感器廣泛應(yīng)用在工業(yè)自動(dòng)化、汽車電子、醫(yī)療設(shè)備和消費(fèi)電子等領(lǐng)域，在汽車中的發(fā)動(dòng)機(jī)、空調(diào)和TPMS（汽車輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)）等零部件大量應(yīng)用。標(biāo)定過程是壓力傳感器關(guān)鍵工藝，標(biāo)定過程中的保壓和溫控是該工藝的關(guān)鍵控制特性，為了確保傳感器完全達(dá)到設(shè)定溫度，標(biāo)定過程需要很長(zhǎng)的溫度穩(wěn)定時(shí)間，也需要高精度的溫度和壓力控制，為生產(chǎn)帶來較大的困難，生產(chǎn)節(jié)拍難以提高，產(chǎn)量受到制約。（剩余6370字）