激光誘導SiC 表面周期性結構特性及其時空成像研究

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關鍵詞：飛秒激光；泵浦?探測；時空成像；激光誘導表面周期性結構

中圖分類號：TN 249 文獻標志碼：A

引言

飛秒激光憑借其極短的脈沖寬度和極高的峰值功率等特點在材料微納加工方面有著獨特的優(yōu)勢，可以對金屬、半導體以及介質(zhì)等幾乎任何材料的表面或內(nèi)部實現(xiàn)微/納米級的精細加工。近年來，飛秒激光誘導表面納米結構技術迅速發(fā)展成為一種強大、靈活的功能化表面制造技術，其中激光誘導周期表面結構（laser induced periodic surface structures，LIPSS）技術[1]因其在金屬[2-3]、半導體[4-5]、陶瓷[6]、聚合物[7]等不同材料表面均可形成周期性結構而得到廣泛關注。（剩余5572字）