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Development of collimated focus coupled optical path for film thickness monitoring system
XIE Haifeng 1，2 ，F(xiàn)U Xiuhua 1，2* ， DONG Suotao 2，4 ， SHI Peng（剩余17306字）
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膜厚監(jiān)控系統(tǒng)準(zhǔn)直聚焦耦合光路的研制
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