多晶金剛石片的機(jī)械磨拋工藝

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摘要 使用游離磨料進(jìn)行機(jī)械研磨是金剛石平坦化的主流加工手段之一。針對多晶金剛石的材料特性，開展變參數(shù)的游離磨料機(jī)械研磨實(shí)驗(yàn)。通過改變磨料粒度、研磨壓力、研磨液濃度，研究其對多晶金剛石片機(jī)械研磨的材料去除率和表面粗糙度的影響規(guī)律。結(jié)果表明：材料去除率隨磨料粒度和研磨壓力的增大而增大，隨研磨液濃度的增大先增大后趨于穩(wěn)定，其中磨料粒度是對去除率影響最顯著的因素；而表面粗糙度隨磨料粒度的減小而降低，隨研磨壓力和研磨液濃度的增大呈現(xiàn)先降低后升高的變化趨勢，其中磨料粒度對多晶金剛石加工表面質(zhì)量的影響最為顯著。（剩余11344字）