多孔GaN/Ga2O3 異質(zhì)結(jié)雙波段紫外光探測(cè)器的制備及性能研究
摘要:以NaNO3 溶液作為刻蝕溶液、使用紫外輔助電化學(xué)方法刻蝕的多孔GaN 作為襯底,使用射頻磁控濺射法在GaN 襯底上沉積Ga2O3 并退火處理,制備了含多孔GaN/β-Ga2O3 異質(zhì)結(jié)的高響應(yīng)度紫外光探測(cè)器。該探測(cè)器能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)短波紫外光和長(zhǎng)波紫外光的靈敏探測(cè),雙波段探測(cè)性能可通過調(diào)節(jié)電壓實(shí)現(xiàn)。(剩余6906字)
試讀結(jié)束
目錄
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