高頻薄膜體聲波濾波器設(shè)計(jì)方法

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摘  要： 針對(duì)無線通信系統(tǒng)對(duì)高頻化和集成化濾波器的需求，提出一種高頻薄膜體聲波濾波器設(shè)計(jì)方法。基于空腔型薄膜體聲波諧振器（FBAR）結(jié)構(gòu)，在空氣腔上方建立有效壓電復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)模型，通過COMSOL Multiphysics仿真分析FBAR各層結(jié)構(gòu)對(duì)頻率特性的影響。結(jié)果顯示，電極和壓電層厚度顯著影響諧振器性能，支撐層在高頻下對(duì)頻率偏移也有顯著影響。（剩余7092字）