大功率光電器件光波導(dǎo)鍵合技術(shù)研究

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摘  要：光導(dǎo)開關(guān)是一種新型半導(dǎo)體光電子器件，在光通訊、雷達(dá)、微波等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，但在高工作電壓的條件下會發(fā)生表面擊穿等問題，因此需要對其進(jìn)行封裝提高側(cè)面的耐壓性能。該文選用光波導(dǎo)的方式對碳化硅晶片進(jìn)行封裝，通過玻璃漿料燒結(jié)鍵合、真空熱壓鍵合和光波導(dǎo)膠鍵合3種方法對小面積的側(cè)面異質(zhì)鍵合進(jìn)行研究。（剩余6704字）