8英寸半導體廠房給排水系統(tǒng)設計工程實例分析

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摘  要：介紹半導體廠廠房給排水系統(tǒng)的設計要點，該系統(tǒng)具有涉及面廣、系統(tǒng)相對分散且復雜的特點。并以某8英寸半導體集成電路制造生產線建設項目為例，介紹給排水系統(tǒng)的構成，對部分設計工藝和參數做介紹。其中超純水采用雙RO的創(chuàng)新性工藝設計，不但能滿足車間生產需求，還大大降低工程造價成本。因此，該文認為給排水設計是工業(yè)廠房設計中非常重要的部分，采用新型工藝設計能夠大大減少建設成本。（剩余4926字）