二氧化硅平面波導(dǎo)集成光開(kāi)關(guān)器件研究

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摘要：基于二氧化硅平面光波導(dǎo)平臺(tái)，設(shè)計(jì)并制作了一種多模干涉馬赫曾德型的低功耗熱光開(kāi)關(guān)。該器件結(jié)合了多模干涉耦合器的穩(wěn)定性及二氧化硅波導(dǎo)和熱光開(kāi)關(guān)的低損耗等優(yōu)勢(shì)。經(jīng)仿真，對(duì)器件參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化，并討論了金屬層與波導(dǎo)的間距對(duì)傳輸光強(qiáng)及功耗的影響。測(cè)試結(jié)果表明，該器件的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，偏振依賴(lài)小，插入損耗低于2dB，能實(shí)現(xiàn)開(kāi)關(guān)的轉(zhuǎn)換，功耗為450mW 左右，開(kāi)關(guān)響應(yīng)時(shí)間為103μs 和113μs，在1564nm 工作波長(zhǎng)下消光比超過(guò)16dB，尺寸為2.30cm×0.25mm。（剩余11821字）