基于波像差理論的實數編碼遺傳算法優(yōu)化XUV 光學系統(tǒng)
摘要:由鏡和光柵組成的 XUV 光學系統(tǒng)具有平面對稱的性質,結合 Lu平面對稱光柵系統(tǒng)的波像差理論和均方根像差評價函數得到用以優(yōu)化 XUV 光學系統(tǒng)的多參量目標函數。為求解該多自變量且大取值區(qū)間的目標函數,提出了一種基于十進制的實數編碼遺傳算法,并將其用于兩種 XUV 光學系統(tǒng)的優(yōu)化求值。將求得的優(yōu)化值用光學仿真軟件 Shadow進行追跡,并和參考文獻進行對比。(剩余12024字)