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等離子體窗具有高真空密封性和良好的束流通過性，在電子束焊接、加速器等領(lǐng)域有很大的應(yīng)用前景.針對傳統(tǒng)等離子體窗應(yīng)用孔徑小的問題，本文在優(yōu)化的三陰極源基礎(chǔ)上研究了通道直徑為7 mm和8 mm等離子體窗的密封特性，以及Ar、He、H 2 三種等離子窗壓降系數(shù)隨輸入電流和氣流量的變化關(guān)系.結(jié)果顯（剩余11208字）
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等離子體窗密封性能實驗研究
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