非晶氧化鋁薄膜結(jié)構(gòu)及其不同色散模型光譜橢偏對(duì)比研究

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摘要：針對(duì)非晶態(tài)氧化鋁納米薄膜材料性能預(yù)測(cè)難度較大的問(wèn)題，本文提出一種基于光譜橢偏技術(shù)的不同色散模型對(duì)比分析方法，用于測(cè)算納米薄膜的結(jié)構(gòu)和光電特性。通過(guò)建立Tauc-Lorentz和Forouhi-Bloomer色散模型，系統(tǒng)地研究了原子層沉積技術(shù)制備的氧化鋁薄膜的物相結(jié)構(gòu)、微觀形貌和光電特性。結(jié)果表明，該薄膜具有無(wú)定型結(jié)構(gòu)，表面光滑無(wú)裂紋。（剩余10282字）