微波等離子體化學氣相沉積制備金剛石厚膜的研究及應用進展

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2022年8月12日，美國商務部工業(yè)和安全局（BIS）在《聯(lián)邦公報》上發(fā)布了一項臨時最終規(guī)定，規(guī)定中對4項“新興和基礎技術”實施最新出口管制，其中包括了金剛石這類超寬禁帶半導體材料。這再次使得金剛石受到廣泛關注，吸引研究人員解決金剛石制備這項“卡脖子”技術難題。

金剛石是由碳原子構(gòu)成的面心立方結(jié)構(gòu)材料，原子之間由強共價鍵結(jié)合，排列非常致密，原子密度為1.77×1023cm-3 。（剩余38052字）