注冊(cè)帳號(hào)丨忘記密碼？
1.點(diǎn)擊網(wǎng)站首頁(yè)右上角的“充值”按鈕可以為您的帳號(hào)充值
2.可選擇不同檔位的充值金額，充值后按篇按本計(jì)費(fèi)
3.充值成功后即可購(gòu)買網(wǎng)站上的任意文章或雜志的電子版
4.購(gòu)買后文章、雜志可在個(gè)人中心的訂閱/零買找到
5.登陸后可閱讀免費(fèi)專區(qū)的精彩內(nèi)容
打開(kāi)文本圖片集
摘 要 以工控機(jī)與數(shù)字量輸入輸出板卡為基礎(chǔ)，設(shè)計(jì)原子層沉積設(shè)備控制系統(tǒng)。采用工控機(jī)串行通信端口實(shí)現(xiàn)真空計(jì)、流量計(jì)、溫度計(jì)等數(shù)據(jù)采集與控制。在N型單晶硅基底表面氧化鋁薄膜生長(zhǎng)測(cè)試中，生長(zhǎng)300周期氧化鋁薄膜平均厚度為33.84 nm，非均勻性為0.36%，生長(zhǎng)速率1.13 ?/cycle，達(dá)到氧化鋁工藝標(biāo)準(zhǔn)。（剩余6515字）
登錄龍?jiān)雌诳W(wǎng)
購(gòu)買文章
原子層沉積設(shè)備控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)
文章價(jià)格：5.00元
當(dāng)前余額：100.00
閱讀
您目前是文章會(huì)員，閱讀數(shù)共：0篇
剩余閱讀數(shù)：0篇
閱讀有效期：0001-1-1 0:00:00
違法和不良信息舉報(bào)電話：400-106-1235
舉報(bào)郵箱：longyuandom@163.com