硅摻雜對AlN材料的影響研究
文章編號1000-5269(2024)06-0014-05
DOI:10.15958/j.cnki.gdxbzrb.2024.06.03
摘要:近年來,對AlN材料的研究熱度居高不下,對AlN材料的制備日益成熟,但是對摻雜的研究大多數(shù)是理論方面,而有效地?fù)诫s是制備器件的前提之一。本文采用高溫?zé)釘U(kuò)散的方式對超寬禁帶材料AlN進(jìn)行N型摻雜實(shí)驗(yàn)研究。(剩余9109字)
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- 貴州大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)
- 2024年06期
目錄
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