傾斜入射下的單截面平面度絕對檢驗
關鍵詞:光學計量;傾斜入射;平面度;絕對檢驗;二次反射棱鏡
引言
平面度是光學干涉計量領域中基礎的測量標準,國家規(guī)程規(guī)定以兩個截面上的直線度量值計算平面度,因此直線度也是國家量值傳遞體系中重要的一環(huán)[1]。傳統(tǒng)情況下使用等傾干涉儀測量標準平晶、長平晶、平面平晶的平面度誤差,其原因為等傾干涉儀可以通過干涉條紋精確地測量多點的高程差[2-4]。(剩余3104字)
試讀結(jié)束