紫外納秒激光加工CVD單晶金剛石基礎(chǔ)研究

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關(guān)鍵詞紫外納秒激光；單晶金剛石；激光刻蝕；平頂激光

中圖分類號TG58;TN249文獻標志碼A

文章編號 1006-852X（2025）02-0205-09

DOI碼 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0097

收稿日期 2024-06-11 修回日期2024-09-28

化學氣相沉積（chemicalvapordeposition，CVD）單晶金剛石具備極寬的禁帶寬度、較高的載流子遷移率、較好的波透過性、極高的熱導率，以及高硬度、高彈性模量等優(yōu)異特性。（剩余16727字）