石灰純堿+雙膜+蒸發(fā)工藝實現(xiàn)半導(dǎo)體清洗廢水零排放分析

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摘要：“石灰純堿軟化過濾+雙膜處理+蒸發(fā)結(jié)晶”為核心的處理工藝，處理江蘇省無錫市某半導(dǎo)體元器件精密清洗廢水，處理廢水水量為150t/d，主要污染物為溶解性總固體、硬度、電導(dǎo)率和氟化物。經(jīng)廢水處理后出水水質(zhì)執(zhí)行《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》（GB 5749-2006）要求，出水全部回用至車間，實現(xiàn)廢水零排放處理。（剩余6537字）