一種高純高致密細(xì)晶低氧鎢靶材的制備方法
專利申請(qǐng)?zhí)枺?022113995563
公布號(hào):CN115740452A
申請(qǐng)日:2022.11.09公開日:2023.03.07
申請(qǐng)人:有研億金新材料(山東)有限公司;有研億金新材料有限公司
本發(fā)明屬于磁控濺射靶材制造技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種高純高致密細(xì)晶低氧鎢靶材的制備方法。以純度大于SN的W粉為原料,先通過真空熱壓燒結(jié)的方式獲得相對(duì)密度為800/~900/的預(yù)成型鎢靶坯。(剩余168字)
試讀結(jié)束
目錄
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